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オープン・ショート リペア技術
Open・Short Defect Repair Technology
Open・Sort缺陷修復技術
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オープン欠陥リペア
・マイクロピペットを用い当社独自の
Auナノメタルインクを塗布
・顕微鏡観察による位置決めと塗布操作
・直線部修正:≧5μm, 円形修正:≧10μm
Open Defect Repair Technology
・Original Repair Ink:[Au Nano-Metal Ink]
・Operation under transmission microscope
・Minimum repair line width:5μm
・Minimum repair circle diameter:10μm
開路缺陷修復技術
・原厂修復液:[「金納米交」] 和微型移液管
・用顕微鏡来進行定位和滴墨水操作
・線修復尺寸:≧5μm、圓修復尺寸:≧10μm
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《 オープンリペア修正例(フォトマスク) 》
《 Example of Open-Defect Repair(Photomask) 》
《 開路缺陷修復示例 (光単膜) 》
修正液の塗布
Repair Ink Deposition
墨水沈釋 |
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焼成後
After Baking
修復之后
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ショート欠陥リペア
・成形されたレーザビームを照射し,不要部分を除去
・目的に合った光学系(波長,レンズ開口数(NA))を
選択
・2μmまでの線幅にも対応
Short Defect Repair Technology
・Variable-shaped Laser Beam
・Optimum choice of Optical System
・Minimum Repair line width:2μm
短路缺陷修復技術
・使用可変形状激光束以高精度工作
・光学系統(波長,鏡口率) 的経験選択
・可用于2微米以上(含2微米)的??
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《 ショートリペア修正例(フォトマスク)
《 Example of Short Repair(Photomask) 》
《 短路缺陷修復示例 (光単膜) 》
修正前
Before Repair
修復之前
↓ |
不要部分の除去
Removed Unnecessary part
除去不必要的部分
↓ |
修正後
After Repair
修復之后
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