オープン・ショート リペア技術 Open・Short Defect Repair Technology Open・Sort缺陷修復技術　 オープン欠陥リペア ・マイクロピペットを用い当社独自の 　Auﾅﾉﾒﾀﾙｲﾝｸを塗布 ・顕微鏡観察による位置決めと塗布操作 ・直線部修正：≧5μm, 円形修正：≧10μm Open Defect Repair Technology ・Original Repair Ink:[Au Nano-Metal Ink] ・Operation under transmission microscope ・Minimum repair line width:5μm ・Minimum repair circle diameter:10μm 開路缺陷修復技術 ・原厂修復液：[「金納米交」] 和微型移液管 ・用顕微鏡来進行定位和滴墨水操作 ・線修復尺寸：≧5μｍ、圓修復尺寸：≧10μｍ 《 オープンリペア修正例(フォトマスク) 》 《 Example of Open-Defect Repair（Photomask) 》 《 開路缺陷修復示例 (光単膜) 》 修正液の塗布 Repair Ink Deposition 墨水沈釋 → 焼成後 After Baking 修復之后 ショート欠陥リペア ・成形されたレーザビームを照射し,不要部分を除去 ・目的に合った光学系（波長,レンズ開口数(NA)）を 　選択 ・2μmまでの線幅にも対応 Short Defect Repair Technology ・Variable-shaped Laser Beam ・Optimum choice of Optical System ・Minimum Repair line width:2μm 短路缺陷修復技術 ・使用可変形状激光束以高精度工作 ・光学系統（波長，鏡口率) 的経験選択 ・可用于2微米以上（含2微米）的?? 《 ショートリペア修正例(フォトマスク) 《 Example of Short Repair(Photomask) 》 《 短路缺陷修復示例 (光単膜) 》 修正前 Before Repair 修復之前 ↓ 不要部分の除去 Removed　Unnecessary part 除去不必要的部分 ↓ 修正後 After Repair 修復之后