|
フォトマスクリペアシステム
Photomask Repair System
光単修復机系統
|
|
|
|
LCD,PDP,OLED,PCB,
その他製品用フォトマスクの修正
・手動型、セミオート型、自動型の ステージ駆動方式の選択
・オープン(白欠陥)、ショート(黒欠陥)、オープン+ショートの
修正選択が可能
・実験装置から、本格的な工場生産用まで対応可能
・検査装置とのデータリンクが可能
Photomask Repair for LCD, OLED, PDP, PCB
・Choice of Manual or Semi-Auto or Auto Type Stage Driving
・Choice of Repair Module for Open Defect and/or Short Defect
・Customized Design for Laboratory use and Production use
修復LCD,PDP,OLED, 和 PCB 光単膜的缺陷
・可選択垂直和水平没置平台
・可選択開路缺陷和/或短路缺陷的修復模式
・可用于実験和生産線的自定設計系統
・可与検査数据相機接
|
<MANUAL TYPE> |
<HORIZONTAL TYPE>
|
|
|
|
|
|
|
|
|